Collaboration Projects
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防霧膜製備
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常壓低溫(<40 ℃)製備防霧膜於玻璃或軟性透明基板
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真空鍍膜
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以磁控濺鍍或HIPIMS技術開發各種具有高硬度、低摩擦係數、耐高溫與抗氧化等優點的氮化物膜。具透明、防水氣及氧氣、保護作用的氧化物膜。
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電漿改質
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利用真空或常壓電漿或電漿輔助化學氣相沉積製程，調整表面親疏水性，抗腐蝕之氧化物或氮化物鍍膜
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親/疏水膜製備
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常壓低溫(<40 ℃)製備親水或疏水膜
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金屬鍍膜
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以PVD技術製備高品質金屬鍍膜可應用於電子元件
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Testing Services
| Name of Services | Description |
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表面形貌分析
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利用原子力顯微鏡或白光干涉儀分析表面形貌
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材料微結構分析
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各種材料的結晶構造、微結構檢測與成分分析
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材料機械性質分析
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檢測材料的各式硬度、耐磨耗性、附著性質分析
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Laboratory Equipment
| Equipment Name | Specifications |
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常壓(大氣)電漿電源系統
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DBD, JET, power: 200 W ~ 2000 W，電路及系統可客製
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微波電漿系統
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2.45 GHz，電路及系統可客製
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快速退火爐
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RTA, 最高溫攝氏1000度，可進行多次循環退火
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Dimatix DMP 2800 噴墨列印機
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壓電式(Piezoelectric)系統，工作面積:A4，工作平台最高溫度攝氏60 ℃，可進行複層印刷，卡匣(10pL)，噴墨最小間距20um
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石英退火爐管
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最高溫度：攝氏1000度，真空：10^-4 torr，可通惰性氣體或氮氣，可程式設定循環退火。
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Ming Chi University of TechnologyIndustry-University Collaboration Center (02)2908-9899 #3071