| Name of Services | Description |
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真空快速退火爐
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2吋內徑,溫度可達800度,MFC控制氣體流量,,可通入氮氣,氫氣,氧氣
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真空高溫退火爐
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2吋內徑,溫度可達1200度,可通入氮氣,氫氣,氧氣,,MFC控制流量與蝶形閥控制開啟(可用陶瓷館與石英管)
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真控濺鍍機PVD
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1DC,1RF,基板RF,2吋靶(基板上置)
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電化學恆電位儀
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可做交流阻抗分析,儀測機台,電化學必用儀器穩定性佳
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常溫高溫熱處理盧
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SiC加熱管可達1200度
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DC power與RF power數個
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可做小電流電化學沉積與陽極處理
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